熱式質（zhì）量流量計(控製器)使用中注（zhù）意事（shì）項

(1)儀表使（shǐ）用時,使（shǐ）用環境應滿足說明書中規（guī）定的環境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表程的（de）規定範圍內。

(2)為（wéi）了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用（yòng）方便,儀表使用時應配套安裝適當截止、過（guò）濾器,幹燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象,所以使用中要經常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要（yào）直接轉入“閥控”位,應先（xiān）置於（yú）“關閉位覺（jiào）,然後,再轉至“控”位。

(5)對於反（fǎn）應係統,建議在 MFM/MFC入口（kǒu）處加裝過濾器,出口端加裝單向層,以防止異常情況發生時,液（yè）體反應物倒流至儀表內使其損壞。

(6)對於常（cháng）壓係（xì）統,一般選擇減壓器（qì）和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對於高壓係統,應在 MFM//MFC的上遊加（jiā）裝減壓（yā）閥（fá）、過濾器（qì）,下遊加裝背壓（yā）閿(或其他節（jiē）流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應（yīng）有（yǒu）的工作壓差。

(8)對於（yú）矽烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應（yīng）特（tè）別注意係統的密閉性(檢漏時,不要忽視減壓器),必要時設計上吹洗旁路（lù）,以便進行（háng）氮氣吹洗或正壓保待。

(9)對有（yǒu）高頻源的係統,應注意屏慧,並做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對於高真空（kōng）係統,應盡量減少氣略（luè）接（jiē）頭,對（duì）須有的接頭,要嚴格密封或采用VCR等（děng）接頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇水平（píng）位置、並且安裝麵要水平、安裝位置要易於裝（zhuāng）卸、檢、調（diào）零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要（yào）安（ān）全可靠。

(12)使（shǐ）用中,如果工藝（yì）係統複雜或使用特殊（shū）氣體,儀表的測控（kòng）係（xì）統啟用應建立專用的操（cāo）作規（guī）程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過外罩上的調零孔調整,也可揭開外罩調整,但量程調整電位器不得（dé）輕易調整。

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